特長

• シェル材は純チタンですが、ＩＣＦフランジは、チタン合金（特許品）を使い、ステンレス材以上の硬度を持ち、真空シールは市販の銅ガスケットでＯＫです。
• 内面及び外面は経験豊富なバフ研磨技術と化学研磨により、Ra=0.2nm（ナノメートル）の面粗度を出しています。
• 同一形状のステンレスチャンバーと比較した場合、目標真空に約半分の時間で到達します。

^{納入先
日本原子力研究開発機構、高エネルギー加速器研究機構
京都大学、電気通信大学、広島大学、山口大学}